Kosaka 6寸臺階儀 ET200A

產品概要：

二維／三維表面粗度解析及臺階測定，可實現高精度、高辨識能力及優越的安全性。

基本信息：

極佳重復性與線性度

采用直動式檢測方式，可避免圓弧補正誤差，可避免Bearing間隙誤差；臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm；Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)。

高分辨率

縱軸分辨率高至0.1nm，橫軸分辨率高至0.1um，X測定速度可調：5μm~2mm/s。

低測定力

測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定，可測定軟質材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

真直度保證-1

技術優勢：

1、設備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

2、獨特的直動式傳感器設計

3、Z方向分辨率0.1m;重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

4、Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

5、樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

6、高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向測量長度大至100mm，Y方向移動大至150mm

7、選配三維測量功能

應用方向：

主要用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細形狀臺階／粗度測定，另外也可利用微小測定力來對應軟質樣品表面測定。

Kosaka 6寸臺階儀 ET200A

Kosaka 6寸臺階儀 ET200A

Kosaka 6寸臺階儀 ET200A

Kosaka 6寸臺階儀 ET200A