詳解探針臺和點針工作站的操作步驟返回列表

一.探針臺操作步驟：

1.將測試產品放入探針臺的臺盤上;

2. 打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);

3.打開背光面板光源開關;

4.調整Z axis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;

5.調整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;

二.點針操作步驟：

1. 通過移動鏡頭組部分找到Sample 要下針的地方;

2. 調整針座位置，將三軸歸零;

3. 調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑中央上方1-2mm處;

4. 利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野中央位置并通過調整焦距使針尖達到*清晰;

6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;

7.利用針座的X-Y-Z 軸微調下針;

8.量測完畢后，逆時針旋轉針座的仰角機構的旋鈕快速將針往上抬起，針尖即可移開Sample;移動針座平臺或者顯微鏡相關移動機構時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞

9. 移開針座，取出Sample.

10.關閉背光面板光源和光源燈等電源.

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