TS150-HP & TS200-HP

產品概要：

MPI TS150-HP和TS200-HP探針系統提供了完整的150mm和200mm晶圓上解決方案，可在較寬的溫度范圍內實現功率半導體的低接觸電阻測量。

基本信息：

空氣軸承

MPI獨特的氣墊載物臺設計，具有MPI獨特簡單的單手快速移動控制，為快速的XY導航和晶圓裝載提供了很強的操作便利性，同時又具有額外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺機芯，提供更精準的定位能力。

卡盤系統

MPI提供高達10KV同軸、600A的卡盤選件，電磁屏蔽和工作臺電弧屏蔽ArcShieldS設計為提高電壓量測提供安全防護。

高電壓/大電流/超大功率探頭

MPI高功率探測解決方案包括專用的高壓、大電流和超大功率探頭。MPI的高壓探頭能高壓測試期間進行低泄漏電流測量，測試高達3kV的三軸或5 kV和10kV的同軸設置。HCP使用MPI專有的多觸點尖端來降低接觸電阻，以進行高達600A的超高電流測量。UHP探頭兼具這兩種功能，并且無需為高壓和高電流應用更換探頭。

屏蔽系統

標準的手動高功率探頭系統配置有暗箱或紅外激光光幕，可以提供用于安全和EMI屏蔽功能的互鎖，且能夠確保低噪聲、準確和安全的測量。

儀器集成

TS150-HP / TS200-HP可以配置各種儀器連接套件，其中包括必要的高壓/大電流探頭和電纜附件，以便連接至測試儀器，例如Keysight B1505(3kV或10kV)或Keithley 2600-PCT-XB，包括集成的8020大功率接口面板。

技術優勢：

1、單機多應用設計

2、通用于高功率器件量測和晶圓級測試應用，如組件特性描述和建模，晶圓級可靠性(WLR)、失效分析 (FA)、集成電路工程、微型機電系統 (MEMS)工效學與安全設計

3、方便單手操作的快速釋放拖移氣浮載物臺設計

4、堅固且可乘載多達 10 支高電壓 HV 或 4 支大電流HC 微定位器的工作臺

5、電磁屏蔽箱和工作臺電弧屏蔽 ArcShieldTM設計，為高電壓量測提供安全防護

6、支持較寬的溫度范圍：20℃至300℃

應用方向：

MPI大功率器件表征系統是專門為晶圓上大功率器件測試而設計的。

 

TS150-HP & TS200-HP

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